PLASMATECH 电子枪

电子束入射垂直性的提高（熔化痕迹的改善）

X/Y轴+20MM的电子束扫描

由于反射电子束入射到基板的减少使膜损坏程度降低

由于使用电磁线圈可改变加速电压

抑制凝子/阳极板的寿命提高
可和以前的G-12100型交换

由于采用加速电压和电子束电流完全分离控制技术大幅度地改善异常放电所旨起电流嗓声(noise)。

进一步提高了加速电压，电子束电流的安定度。

采用微机技术，减少了由于继电器所旨起的故障提高了生产效率。