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高速消除静电&对应无风电荷卸载
特点
通过“无风”“微风”“高速”等所有静电消除方式,来对应多种应用。
ER-X系列不仅能对应用到压缩空气的“微风电荷卸载”、“高速电荷卸载”,还可对应无需使用压缩空气的“无风电荷卸载”。另外,还可连接2个接头,因此可用于各种用途的电荷卸载。
微风(空气 : 不足0.05MPa)
防止灰尘扩散和清洁度的下降!
即使是以往机型所无法对应的不足0.05MPa的区域,也可进行电荷卸载。由于几乎不存在空气引起的灰尘扩散,因此最适用于对清洁度要求较高的半导体和FPD(移动面板)等用途的电荷卸载。由于存在空气,使得灰尘难以附着在放电针上,因此与使用无风时相比,可减少清洁次数。
高速电荷卸载
放出空气+大量离子,从而缩短电荷卸载时间!
大量放出离子,从而可缩短电荷卸载时间。最适用于电子纸和薄膜太阳能电池等,电荷卸载速度直接关系到单件工时生产性提高的用途。
真空(无风)
无需担心覆膜的滑动和微小部件的飞散!
最适用于覆膜、引线框架等精密基板、微小部件的用途。无需担心压缩空气所造成的工件滑动和飞散,因此可顺利地开展作业。
可连接2个接头,从而扩大电荷卸载区域,提高布局扩展性
将空气供给口配置在电源线缆的相反侧,从而在1个部位实现压缩空气供给口(T分歧),并能在1台控制器上连接2个接头。另外,还可与不同的接头进行组合使用。不仅能扩大电荷卸载区域,还可提高布局的扩展性。
丰富的接头种类,可供选择
备有4种接头,可根据工件进行选择。 | 
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小型接头,360°调整机构
30×22mm的小型尺寸,可安装在狭小的空间内。另外,还可将接头角度旋转360°,因此安装后亦可调整电荷卸载区域。 | 
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前端采用扁平形状,便于清洁
由于前端采用扁平形状,因此只需沿着沟槽刷扫,即可一并完成放电针和空气吹出口的清洁操作。 | 
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组件化,可简单地更换放电针
将放电针实现组件化(4根针一套),从而大幅简化更换操作。根据组件上的箭头向两侧滑动,即可简单地完成拆卸操作。 | 
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精选接头材质,防止异物混入
考虑到二次电池等的制造工序,未使用铜质材料,也未进行电镀处理。将对异物混入的担心程度控制在最小限度。
利用脉冲AC方式实现高速电荷卸载※
采用在1根放电针上交叉施加“+”与“-”电压的脉冲AC方式。由于离子生成量较多,可放出大量的离子,因此可在短时间内完成电荷卸载。另外,由于放电频率和离子平衡(“+” “-”宽度)是可调的,因此可灵活地对各种工件进行电荷卸载。
※与本公司的以往机型比较 |  |
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利用电平指示仪使电荷卸载状态实现可视化
配备有对离子产生量进行检测、并显示其状态的“离子监控器”,以及可一目了然地掌握接头周围的“+” “-”带电量的“带电监控器”。监控器通过电平指示仪进行显示,因此可简单地掌握放电针的污渍及电荷卸载状态。利用显示切换开关,可选择任意一个监控器的显示。
用途
防止灰尘扩散  | 种类接头 接头中不附带接头连接线缆,请另行订购。 种类 形状 电荷卸载时间 (±1,000V→±100V) 离子平衡 有效电荷卸载幅度 型号 棒型 | 1秒以下(注1) | ±30V以下 (注1)(注2) | 约160mm | ER-X016 |  | 约320mm | ER-X032 |  | 约480mm | ER-X048 |  | 约640mm | ER-X064 |
(注1)| 电荷卸载距离100mm、放电频率50Hz、无空气供给条件下的典型示例。 | (注2)| 离子平衡为正负的平均值。另外,规格值是在环境温度变化为±10℃的环境下,从开始放电经过30分钟后设定离子平衡,将离子平衡控制功能设为ON时使用的典型示例。 | 控制器控制器中不附带电源线缆,请另行订购。 种类 形状 型号 接头连接台数 输出 标准型 | ER-XC02 | 最大2台 | PhotoMOS输出 | 接头连接电缆接头中不附带接头连接电缆,请另行订购。 形状 型号 内容  | ER-XCCJ2H | 长度2m、本体重量:约80g | 两侧带连接器的 橡皮绝缘软电缆 | | ER-XCCJ5H | 长度5m、本体重量:约190g | | ER-XCCJ10H | 长度10m、本体重量:约560g |
| FPC的高速电荷卸载  |
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可选件
品名 型号 内容
电源电缆| ER-XCC2 | 长度2m、本体重量:约80g | 0.15mm2芯带连接器的橡皮绝缘软电缆 电缆外径:Ф5.3mm |
| ER-XCC5 | 长度5m、本体重量:约190g |
AC适配器| ER-XAPS | IN:100~240V AC、50/60Hz OUT:24V DC、1.5A 使用环境温度:0~+40℃ 连接器-AC适配器之间的电缆长度:1.8m F.G.线长:3.7m AC电缆:1本、长度1.8m、额定值125V AC(注1) 配线连接器用端子:6个 |
放电针组件| ER-XANT | 带更换用钨针的组件:1个 |
放电部保护盖| ER-XACVR | 在接头ER-X□上安装可防止放电针带来的触点感。2枚1套。(注2) 材质:树脂、重量:约20g(1套) ※ 接头ER-X□的除电性能不会因安装了放电部保护盖而受到影响。 |
注1)| AC电缆的额定值是125V AC。如果使用的电压超过125V,请另行准备合适的电缆或选择购买本公司的电缆CN-ACCN-C2或CN-ACKR-C2。ER-XAPS-EX中不配备AC电缆 |
注2)| 必要套数根据接头的机种而有差异。 |
接头型号 ER-X016 ER-X032 ER-X048 ER-X064
必要套数
(2枚1套)1套 | 2套 | 3套 | 4套 |
电源电缆ER-XCC□  | |
| AC适配器ER-XAPS  | |
| 放电针组件ER-XANTS  | |
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放电部保护盖ER-XACVR  | |
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规格
接头
种类 接头
型号 ER-X016 ER-X032 ER-X048 ER-X064
有效电荷卸载幅度| 约160mm | 约320mm | 约480mm | 约640mm |
电荷卸载时间(±1,000V→±100V)| 1秒以下(注1) |
离子平衡| ±30V以下(注1)(注2) |
放电方式| 脉冲AC方式 |
放电输出电压| 约7,000V |
臭氧产生量| 0.01ppm以下 |
最大空气压力| 0.5MPa |
使用流体| 空气(干燥的清洁空气)(注3) |
使用环境温度| 0~+50℃(但应无凝露)、保存时:-10~+65℃ |
使用环境湿度| 35~65%RH、保存时:35~85%RH |
耐振动| 耐久频率10~55Hz 双振幅0.75mm XYZ各方向2小时 |
耐冲击| 耐久频率100m/s2(约10G) X、Y、Z各方向3次 |
外壳接地方式| 浮动接地 |
材质| 本体外壳:PPS、SUS、接头安装配件:SUS、放电针:钨 |
重量| 本体重量:约410g | 本体重量:约530g | 本体重量:约650g | 本体重量:约780g |
(注1):电荷卸载距离100mm、放电频率50Hz、无空气供给条件下的典型示例。
(注2): 离子平衡为正负的平均值。另外,规格值是在环境温度变化为±10℃的环境下,从开始放电经过30分钟后设定离子平衡,将离子平衡控制功能设 为ON时使用的典型示例。
(注3): 干燥的清洁空气是指经过空气干燥器(露天温度为+20℃左右)、空气过滤器(网眼尺寸为0.01μm左右)处理的空气。
控制器
种类 控制器
型号 ER-XC02
接头连接台数| 最大2台 |
电源电压| 24V DC±10% |
消耗电流| 连接1台接头时:450mA以下、连接2台接头时:800mA以下 |
指示灯| 显示接头1、接头2的状态 |
放电(DSC)| 绿色LED(放电时亮灯) |
确认(CHECK)| 橙色LED(检测到放电针的污渍、磨耗等时亮灯) |
错误(ERROR)| 红色LED(检测到异常放电时亮灯) |
电平指示仪| 绿色LED(5个阶段。根据带电量或者离子产生量亮灯,利用开关进行切换) |
输出
[报警(ALARM)
错误(ERROR)
公共端(COM)]PhotoMOS输出 • 最大负载电流:100mA • 外加电压:30V DC以下(输出-输出公共端之间) • 剩余电压:1.5V以下(负载电流100mA下) |
输出动作报警(ALARM):检测到放电针的污渍、磨耗时置ON、正常时置OFF 错误(ERROR):检测到异常放电时置OFF、正常时置ON |
短路保护| 配备(自动复位式) |
放电控制输入
(DSC OFF)允许放电:开放、停止放电:24V或者0V短路时 |
使用环境温度| 0~+50℃(但应无凝露)、保存时:-10~+65℃ |
使用环境湿度| 35~65%RH、保存时:35~85%RH |
耐电压| AC1,000V 1分钟 整个充电部 ·外壳之间 |
绝缘电阻| DC250V兆欧下20MΩ以上 整个充电部 ·外壳之间 |
耐振动| 耐久频率10~150Hz 双振幅0.75mm XYZ各方向2小时 |
耐冲击| 耐久频率100m/s2(约10G) X、Y、Z各方向3次 |
外壳接地方式| 浮动接地 |
材质| 外壳:ABS |
重量| 本体重量:约130g |
附属品电源·输入/输出连接用连接器:1套(机壳5557-10R、端子5556TL[日本MOLEX(株)生产]) 接地线(约3.7m):1根 |
尺寸图
ER-X□
接头
型号 A B C D (E)
ER-X016| 120 | 194 | 226 | 238 | 251 |
ER-X032| 280 | 354 | 386 | 398 | 411 |
ER-X048| 440 | 514 | 546 | 558 | 571 |
ER-X064| 600 | 674 | 706 | 718 | 731 |
放电部保护盖ER-XACVR安装图
型号 (F)
ER-X016| 159.6 |
ER-X032| 319.6 |
ER-X048| 479.6 |
ER-X064| 639.6 |
ER-XC02
控制器
ER-XCCJ□H
连接接头的电缆
・长度L
型号 长度L
ER-XCCJ2H| 2,000 |
ER-XCCJ5H| 5,000 |
ER-XCCJ10H| 10,000 |
ER-XCC□
电源电缆(另售)
・长度L
型号 长度L
ER-XCC2| 2,000 |
ER-XCC5| 5,000 |
ER-XAPS(-EX)
AC适配器(另售)
| 静态特征 通过150mmCPM(充电板监视器)测定。(在CPM中心位置) (代表示例) 共同特性ER-X032ER-X064 |
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