MODEL

RS-1510

RS-2010

RS-2515

RS-3020

RS-4030

RS-5030

(X/Y/Z轴)量测行程(mm)

150*100*100

200*100*175

250*150*175

300*200*175

400*300*175

500*300*175

外形尺寸

540x560x850

540x560x850

760x600x900

760x600x900

970x670x940

970x770x940

机台底座

高精度花岗石底座及立柱

照明系统

表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

CCD

高解析度日本索尼彩色CCD

X,Y轴量测精度

（3+L/150）um

放大倍率

Step Zoom光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：20--120X

光学尺解析度