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Perlast G74P半导体、真空环境,超纯级透明全氟弹性体
描述
Perlast® G74P是为半导体和生物分析工业而开发,与氟化学兼容并普遍适用于干湿的半导体工艺,包括光刻、等离子体、物理气相沉积、化学气相沉积、蚀刻、剥离和清洗。G74P具有极低的释气性能,特别适合在真空环境中应用。因为它的填充颗粒非常小,所以也适合波长很短的激光应用。
其和G67P性能接近,只是弹性体不同,主要表现在:硬度、拉伸强度、断裂伸长率、弹性模量和压缩变形
关键特征
· 超纯
· 优异的耐化学和耐温性能
· 非常好的机械加工性能
· 工作温度从-15℃到+275℃
· 高效密封性能
· 释气极低-适合真空应用
典型材料特性
特性 ASTM ISO 值
材料类型 FFKM FFPM
颜色 透明
硬度:(°IRHD) D1415 ISO48 70-80
(Shore A)D2240 ISO7619 74
抗张强度(MPa) D412 ISO37 20.0
断裂延伸率(%) D412 ISO37 255
模数 (100%)(MPa) D412 ISO37 5.8
压缩形变率:
200°C (392°F) 时
存放 24 小时 D395 ISO815 24%
204°C (400°F) 时
存放 70 小时 D395 ISO815 38%
最低工作温度 -15°C (+5°F)
最高工作温度 +275°C (+527°F)
热膨胀系数(℃-1) 5.7x10-4
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