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◇ 操作说明
在正常的操作下,材料的氧化膜每封孔1Mic需要1Min,但是实际上当氧化膜厚度超过12Mics时,最多也只能12Mins。在所有的工艺中,封孔前都需要用去离子水冲洗。由于工艺中的化学反应速度很慢,封孔的效果只有在存放24h以后才能达到令人满意的程度,而且在存放的头三天内还会不断地迅速改善。如果被封孔材料能用50-55℃的热去离子水浸泡10Mins,反应速度会大大地加快。
◇ 操作条件
1.CS-MAIN浓度:4-6g/L
2.F离子浓度:400-600ppm
3.PH:5.5-6.5
4.温度:20-30℃
5.封孔时间:1Mins/Mic(最多12Mins)
◇ 滴定方法
请参考相关的分析方法。
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