红外显微热像系统:定量评估各种封装模式下的温差及温度均匀性。-20°~+100°C / 0°~+350°C (可自行切换) 有效地检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题,可以有效地检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题测量.显示电子器件或电路板的表面温度分布,为客户提供了一种快速探测热点和热梯度的有效手段。
本产品可用于半导体IC裸芯片检测、集成电路热点和短路故障查找和分析、封装热阻测量及热设计的优化、MEMS热成像分析、微交换器的热传输效率分析、微反应器的热成像测量、材料的热性能检测、热流体分析和辨别固晶/焊线/点胶缺陷等。
型号 |
OTD-60S(开发平台) |
OTD-60C(集成平台) |
测量参数 |
探测器类型 |
非制冷焦平面,像素:320*240,工作波段:8µm~14µm |
热灵敏度(NETD) |
<0.05℃@30℃ |
温度范围 |
-20°~+100°C / 0°~+350°C (可自行切换) |
测量精度 |
+/- 2 % , +/- 2 °C |
标准镜头(广角镜头) |
视场:25°x18.8° ,焦距: 0.4m,空间分辨率: 1.36mrad |
显微镜头(定焦镜头) |
分辨率:25µm,视场:8mmx6mm\分辨率:50µm,视场:16mmx12mm\分辨率:100µm,视场:32mmx24mm |
调焦方式 |
自动或手动(内置马达) |
测量分析 |
热分析软件 |
MicroOptics ResearchIR |
帧频选择 |
帧频范围:3Hz~60Hz,可采用多种帧频录制/实时显示 |
图像模式 |
自动模式、最大最小值模式、放大模式、自动放大模式 |
测温区域 |
测温点、测温矩形、测温圆\椭圆、测温线\折线,均可移动 |
温度显示 |
最高温、最低温、平均温度、等温线、温度时间曲线、线温分布图等 |
红外图像 |
等温色设定、多种伪彩显示(彩虹,铁红等) |
热点探测 |
根据客户需求定制开发热点探测功能,如显示位置、报警、跟踪等 |
失效分析 |
根据客户需求定制开发失效分析认定程序,如通过比较缺陷元件与正常元件的热表现,可自动认定缺陷元件所在位置或区域 |
温度校正 |
发射率校正、距离校正、大气透过率修正、反射温度补偿等 |
数据采集 |
录像模式:定时触发、手动触发、条件触发,快照图片 |
存储格式 |
图片格式:jpg、bmp、si等,视频格式:avi、mi、csv等 |
辅助功能 |
温度报警、日志功能、记录操作等 |
辅助平台 |
垂直聚焦台(Z向) |
行程:400mm,分辨率:1um |
行程:100mm,分辨率:1um |
水平微动台(XY向) |
尺寸:120mm×120mm、行程:50mm,分辨率:1um |
尺寸:300mm×300mm、行程:100mm,分辨率:1um |
探针台(XYZ向) |
行程:12mm×12mm×12mm,分辨率:2um |
用户:北京大学,南车,38所,苏州晶能,中航重庆微电子等等
电话 15989565652 15989565652@139.com