型号:XD-1400VCB 真空井式坩埚炉
真空井式坩埚炉是由石英坩埚(或氧化铝坩埚)和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物,退火或扩散半导体晶片;也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。
型号 | XD-1400VCB |
炉膛尺寸 | 可定制 |
最高温度 | 1400℃ |
工作温度 | 1300℃ |
控温方式 | 智能化30段可编程自动控制 |
加热元件 | 硅碳棒 |
炉膛材料 | 氧化铝纤维 |
炉壳 | 双层风冷结构 |
热电偶 | s分度 |
升温速率 | ≤15℃/分钟 |
恒温精度 | ±1℃ |
最大真空度 | -0.1MPa |
额定功率 | 可详询 |