一、设备基本参数
   1、型号：VMS-3020A
   2、运动行程（X、Y、Z轴mm）：300×200×150
   3、工作距离：90mm
   4、工作台呎寸(W×Dmm)：456×366              

   5、玻璃台呎寸(W×Dmm)：360×260

   6、仪器基座及立柱材质：高精度、高稳定性花岗石
   7、CCD摄影机：美国TEO品牌高清晰彩色CCD摄像机

   8、变焦物镜： 0.7X～4.5X可连续变倍之高精密结构光学物镜