型号

LSM-500S

LSM-501S

LSM-503S

测量范围

0.005～2mm

0.05～10mm

0.3～30mm

分辨率

0.00001～0.01mm可选

(.000001"～.0005")( )：英制/公制型

0.00001～0.01mm可选

(.000001"～.0005")( )：英制/公制型

0.00002～0.1mm可选

(.000001"～.005")( )：英制/公制型

20ºC时的直线度*

±0.3μm

全范围：±0.5μm

窄范围：±(0.3+0.1ΔD)μm

全范围：±1.0μm

窄范围：±(0.6+0.1ΔD)μm

重复精度(±2σ)

±0.03μm

±0.04μm

±0.1μm

工件定位误差

±0.4μm

±0.5μm

±1.5μm

测量区域

1×2mm

2×10mm(ø0.05～ø0.1mm)

4×10mm(ø0.1～ø10mm)

10×30mm

激光波长

650nm，可见光

650nm，可见光

650nm，可见光

扫描速度

3200scans/s

3200scans/s

3200scans/s

激光扫描速度

76m/s

113m/s

226m/s

激光可接收标准

IEC或FDA

IEC或FDA

IEC或FDA

备注

*在测量区域中心

ΔD=校正规和工件的直径差