规格型号

MTM-1510M

MTM-2010M

工作行程X、Y、Z轴

150*100*120（mm）

200*100*120（mm）

金属台尺寸

210*160（mm）

260*160（mm）

玻璃台尺寸

354*228（mm）

404*228（mm）

光学尺分辨率

0.5μm

示值误差

X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm）

影像系统

彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件

显微镜系统

目镜：10倍

滤光片：红，蓝，绿，白

测量模式：反射，透射，偏光

5孔物镜转换器

物镜放大倍率误差

包括畸变在内的放大率误差≤0.008%

总放大倍数

50X——500X

照明系统

透射照明光源：白光LED，亮度可调

同轴照明光源：卤素灯，亮度可调

物镜

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距离（mm）

26.1

20.2

8.8

3.68

高度量测模块（选配件）

光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配）

倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm

其它参数

外形尺寸（mm）

590*560*850

仪器重量（kg）

100

110

电源功耗

110V—220V 50/60Hz <60W

单层透明膜厚度测量模式

高精度测量模式

快速测量模式

厚度测量范围

100nm-300nm

300nm-500nm

500nm-3μm

3μm-20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm