ü 对比一般的装备等离子密度高，也能减少因高温/电热发生的损伤，可使用RF (13.56 MHz) + MF (40 kHZ)两种Power

ü 有良好的表面处理效果及均匀性(可处理90mm以上的Wide Strip)

ü 能减少产品表面损伤, No Wire Short可能/能处理Sensitive样品

ü 可适用于低温工艺(Ag, Cu substrate能防止表面氧化)