Surftest (表面粗糙度测量仪) SV-3100
178 系列 — 表面粗糙度测量仪
技术参数
X 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向后
直线度: (0.05+1L/1000)μm*
(0.5μm/200mm: 测量范围为200mm的型号)
倾角范围: ±45o
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm、动力驱动
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s
检测器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测头选件
时，最大可达2400μm)
检测方法: 无轨／有轨测量
测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低测力型)
导头曲率半径: 40mm
检测方法: 差动电感式
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花岗岩
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (S4 型)
756 x 482 x 1166mm (H4 型)
1156 x 482 x 1176mm (W4 型)
766 x 482 x 966mm (S8 型)
766 x 482 x 1166mm (H8 型)
1166 x 482 x 1176mm (W8 型)
重量 140kg (S4, S8 型)
150kg (H4, H8 型)
220kg (W4, W8 型)
*L 为驱动长度 (mm)
评估能力: SURFPAK-SV
评估轮廓
P (主轮廓), R (表面粗糙度轮廓), WC, WCA, WE, WEA,
DIN4776 轮廓、包络残余线、粗糙度 motif、波形 motif
评估参数
Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1,
A2
粗糙度 motif 参数: Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM
波形 motif 参数: Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW
分析图表
ADC, BAC1, BAC2、功率谱图、自相关图、Walsh 功率
谱图、Walsh 自相关图、 倾斜分布图、局部峰值分布图、
参数分布图
滤波类型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正),
2CR-50% (相位校正), 高斯-50%
截止波长*
lc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
取样长度 (L)*
0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
取样长度
倾斜补偿、R 平面 (曲面) 补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、
双曲线补偿、二次曲线自动补偿、 多项式补偿、
多项式自动补偿
* 可在0.025mm 至最大移动长度间指定任意长度。
性能参数
型号SV-3100S4 SV-3100S4 SV-3100H4 SV-3100H4 SV-3100W4 SV-3100W4
货号(mm) 178-471-1* 178-471-2* 178-472-1* 178-472-2* 178-473-1* 178-473-2*
货号(inch) 178-481-1* 178-481-2* 178-482-1* 178-482-2* 178-483-1* 178-483-2*
货号(mm) 178-451-1* 178-451-2* 178-452-1* 178-452-2* 178-453-1* 178-453-2*
货号(inch) 178-461-1* 178-461-2* 178-462-1* 178-462-2* 178-463-1* 178-463-2*
检测器测力0.75mN 4mN 0.75mN 4mN 0.75mN 4mN
X 轴测量范围100mm 100mm 100mm
垂直移动300mm 电动立柱500mm 电动立柱500mm manual 立柱
花岗岩基座尺寸 (WxD) 600 x 450mm 600 x 450mm 1000 x 450mm
尺寸(主机、WxDxH) 756 x 782 x 966mm 756 x 482 x 1166mm 1156 x 482 x 1176mm
重量 (主机) 140kg 150kg 220kg
多种型号可满足不同测量需求
SV-3100S4
测量范围: 100mm
垂直移动: 300mm
基座尺寸 (W x D): 600 x 450mm
基座材料: 花岗岩
SV-3100H4
测量范围: 100mm
垂直移动: 500mm
基座尺寸 (W x D): 600 x 450mm
基座材料: 花岗岩
SV-3100W4
测量范围: 100mm
垂直移动: 500mm
基座尺寸 (W x D): 1000 x 450mm
基座材料: 花岗岩
型号SV-3100S8 SV-3100S8 SV-3100H8 SV-3100H8 SV-3100W8 SV-3100W8
货号(mm) 178-476-1* 178-476-2* 178-477-1* 178-477-2* 178-478-1* 178-478-2*
货号(inch) 178-486-1* 178-486-2* 178-487-1* 178-487-2* 178-488-1* 178-488-2*
货号(mm) 178-456-1* 178-456-2* 178-457-1* 178-457-2* 178-458-1* 178-458-2*
货号(inch) 178-466-1* 178-466-2* 178-467-1* 178-467-2* 178-468-1* 178-468-2*
检测器测力0.75mN 4mN 0.75mN 4mN 0.75mN 4mN
X 轴测量范围200mm 200mm 200mm
垂直移动300mm 电动立柱500mm 电动立柱500mm manual 立柱
花岗岩基座尺寸 (WxD) 600 x 450mm 600 x 450mm 1000 x 450mm
尺寸(主机、WxDxH) 766 x 482 x 966mm 766 x 482 x 1166mm 1166 x 482 x 1176mm
重量 (主机) 140kg 150kg 220kg
