大多数LED芯片制作工艺都以蓝宝石作为衬底,作为衬底材料,蓝宝石有以下优点:
生产技术成熟、器件质量好。
在高温环境中具有优秀的稳定性。
机械强度高,易于处理和清洗。
材料: >99.999%, High Purity, Monocrystalline Al2O3
晶向: C-axis(0001) to M (1-100) 0.2°±0.1°and C-axis(0001)to A (11-20) 0°±0.1°
直径:2’’/4’’/6’’
厚度:330/430 ± 25um (2’’)
500/650± 25um (4’’)
1000/1300± 25um (6’’)
定位边: A-Plane ± 0.1°
定位边长度: 16.0 ± 1.0mm
正面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm
反面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm (双抛)
Fineground Ra=0.8-1.2um (单抛)
TTV: <10 um
BOW: <10 um
Warp : <10 um
包装:百级无尘室包装,双层白色塑料袋真空冲氮,进口多片盒装。