技术规格书
设备名称：高真空退火炉
设备型号：ZKL—2
主要用途：为元器件进行高真空、中温退火处理。消除因点胶、微调等过程中产生的应力。
一、 真空室规格（全不锈钢材料，牌号：SUS304）
1、
真空室内部尺寸：两个真空室，每室内部尺寸为 500（W）Х450（D）Х530（H）mm。
2、
内胆有效尺寸：426（W）Х420（D）Х456（H）mm。
3、
器件托盘有效层数：6层。
4、
真空室外壁采用水冷。
二、 主要技术指标
1、
最高加热温度：350℃
2、
工作温度：室温至260℃或320℃连续可调，工作时可分阶段加热。每一阶段加热温度为可设。
3、
温度均匀性：±10℃
4、
最高超温：15℃（升温阶段）
5、
极限真空度：2×10-6 托
6、
工作真空度：5×10-5 托，达到工作真空度时间小于20分种。
7、
工作方式：连续工作，可手动，可自动。
8、
操作方式：触摸屏。
9、
控制方式：PLC加温控模块（松下）
三、 主要配置
1、
主真空室：两个独立的真空室，操作完全独立。可同时工作也可单独工作。
2、
真空获得部分：采用两级真空泵，第一级为机械泵（日本真空），第二级为复合分子泵（国产）。
3、
真空阀门：不锈钢气动隔断阀（7台）。
4、
真空测量部分：采用复合真空计（两台），低真空规为热偶规，高真空规为冷规。
5、
加热方式：铠装电阻丝加热，每一真空室内分布7组加热器，每一组加热丝均可单独工作；并配8路热电偶，7路为控温用，另一路为测试比对用。
6、
控温方式：PID自动调节，每一层由一独立的PID控制，每一层目标温度、最大输出功率、PID参数均可单独设定。
7、
操作方式：触摸屏，所有参数均可通过触摸屏进行查阅。
