真空度测量范围： 1 × 10~ 1 × 10 离子电流测量范围： 1 × 10~ 1 × 10 测量误差： <5% 测量分辨率： 10 Pa 充许环境温度：-20 ℃~50 ℃ 空气湿度： <85%RH 电源： AC220V ± 10% 50HZ 外形尺寸： 430 × 300 × 215 （ mm ） 高压输出：脉冲 30KV 15KHZ 重量： 8kg
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