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东莞爱德华iH160HTX干式泵维修 爱德华螺杆泵维修 销售热线:13826954831(韦先生)
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
- 负载锁
- 输送
- 计量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 预清洁
- RTA
- 剥离/灰化
- 刻蚀
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和优势
- 优化了设施消耗。
- 无需预防性维护。
- 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
- 在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
- 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
- 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
- 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 | 165 m3h-1 |
| 97 cfm |
| 2750 l min-1 |
极限真空 | 1 x 10-2mbar |
| 7.5 x 10-3Torr |
| 1 Pa |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO63 |
出口连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 |
重量 | 244 kg |
极限功率输入 | 3.1 kW |
电机额定功率 | 5.0 kW |
油容量 | 0.85 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。性能
尺寸
1 | 进气口 |
2 | 出口 |
3 | 抽风口 |
4 | 变频器箱(仅限 iH1000) |
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