型   号

EMP 25

EMP100立式测长仪

测量方式

直接测量/比对测量

直接测量/比对测量

测量传感器

增量式测头

增量式测头

测量系统

采用德国海德汉透射玻璃陶瓷相位光栅尺所组成
零膨胀系数 a=(0±0.1)*10-6K-1

采用ZEISS透射光栅尺编码器

绝对测量范围

25mm

100mm

比对测量范围

0.5-200mm

0.5-500

分辨率

0.01(0.001)µm

0.01µm

测量不确定度

(0.05+L/1000)µm

(0.15+L/1000)µm

测力

1N

1N

重复性

0.03µm

0.03µm

软件

具有强大的测量及数据管理功能，高效、¾­济

检定温度

20℃±0.5K

温度变动量

0.2K/h