型号

500

700

测量行程

520mm

720mm

体积(长/宽/高)

310/190/750mm

310/190/950mm

重量

48kg

58kg

气压

>6bar

>6bar

耗气量

<40升/分钟

<40升/分钟

正向垂直度偏差

1.0µm

1.2µm

正向直线度偏差

0.8µm

1.0µm

侧向垂直度偏差

4.0µm

5.0µm

重复性（不包括传感器误差）

0.1µm

0.1µm