>> 产品特点 

   卷材等离子处理系统,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于PTFE/PI薄膜、FPC柔性电路板、电池隔膜等卷筒材料清洗、刻蚀、活化、接枝处理,可选择中频、射频、微波等离子处理模式。
>> 技术参数

 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯) 

1903(W)×980(D)×2075(H)mm
 ◆ 仓体结构(铝，约800升)
600(W)×840(D)×800(H)mm
 ◆ 处理材料 

材料直径：最大400mm ，材料宽度：100mm
 ◆ 等离子发生器(美国MKS) 

频率13.56MHZ,功率0-5000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
 ◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) x2台（前级泵可选配爱德华干泵）

英国爱德华罗茨泵  EH1000(280L/S)        
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
 ◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件