型    号          

VideoCheck-IP250/400

测量范围

(X轴) 

250mm           400mm

(Y轴) 

125mm           200mm

(Z轴) 

200mm           200mm

最大允许测量误差1)

(E1单轴精度）

(0.95+L(mm)/300)µm    

(E2平面精度）

(1.50+L(mm)/250)µm

(E3空间精度）

(2.90+L(mm)/150)µm

最大允许测量误差2)

(E1单轴精度）

(0.95+L(mm)/150)µm

(E2平面精度）

(1.50+L(mm)/120)µm

(E3空间精度）

(2.90+L(mm)/100)µm

分辨率

0.1µm

工作台承重

30kg             40kg

定位速度

200mm/s

加速度

300mm/s2

仪器重量

380kg            480kg

功耗

1000VA

1)精度保证环境条件

20℃±1o Δ=0.5 o/h

2)精度保证环境条件

20℃±2o Δ=1 o/h

适用温度

10-35℃

精度检定光学放大倍率

5X