杭州氩气纯化器氩气纯化机氩气纯化装置主要用途:用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等
YA-2c型高纯氩气纯化装置采用非蒸发型皓铝16为净化剂,在一定的温度下,吸气剂可于氩气中的微量杂质O2,H2O,CO,N2,等等形成稳定的化合物或固溶物。从而达到对氩气精制的目的本装置净化器采用特殊结构。具有接触面积大,阻力小。净化效率高。![](http://i02.c.aliimg.com/img/ibank/2012/150/639/609936051_891482233.jpg)
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热功率损耗小等优点
杭州氩气纯化器氩气纯化机氩气纯化装置本装置可与区溶单晶炉配套使用可用于激光器,溅射,半导体生产。气相色谱仪,直读光谱仪特殊灯泡稀有金属等需要用高纯氩气的生产技术领域。尽管氩只占了大气比例不到1%,氩作为一种含量丰富的惰性气体在工业生产中显得日益重要。在形成要求比较严格的隋性气氛中,氩气比氮气更适宜。氩主要应用于钢铁工业,在不锈钢生产中,氩被吹入炉内搅动熔化金属,以置换出其它气体。氩气也常应用在焊接、金属制造、铝材加工、微电子、及其它工业中形成保护性气氛
任何一个品牌的直读光谱仪对氩气的纯度要求都很高(纯度在99.999%以上),而很多厂家生产的高纯氩气(99.999%)很多实际上达不到要求。如果用氩气净化机的话这个问题完全可以解决,直接可以将99.99%的纯氩净化成高纯氩,在保证气体质量的同时也降低了生产成本。(纯氩和高纯氩的差价较大)
随着国内对高纯气体纯度指标的要求不断提高,很多高纯,超高纯以及标准气体厂都配置了气相色谱仪一类的气体纯度分析仪器。在实际测量中,为了保证分析数据的准确性,载气的纯度必须高于被分析气体的纯度一个数量级左右。所以如果要对纯度为5个9的气体质量进行检测就应该使用纯度为6个9以上的载气。
取得6个9的载气有两钟方法,一是直接购买纯度为6个9的瓶装高纯气体,二是使用气体纯化器将4-5个9的气体纯度提高到6个9以上。下面对这两种方案进行分析。
在成本方面,瓶装高纯气体,特别是6个9的高纯度瓶装气体的价格昂贵。而且供应商的数量很少,用户的选择不多。如果气体的纯度级别降低一个9,价格可能会降低十倍到几十倍。可供选择的供应商也会增加很多。购买气体纯化器固然需要一定的费用,但在用气量达到一定水平的时候,使用低纯度气体经纯化器纯化的方案肯定比购买高纯度瓶装气体更加方便经济。
杭州氩气纯化器氩气纯化机氩气纯化装置在可靠性方面,在直接使用高纯度瓶装气体时,气体的纯度完全由供应商控制。一旦供应商的质量控制出现问题造成瓶装气体纯度的波动,用户会直接受到影响。而使用气体纯化器时,即使瓶装气体纯度出现波动,由于气体是经过纯化器后使用的,其纯度是稳定的。所以用户不会受到任何影响。
所以使用低纯度气体经纯化器纯化的方案肯定比购买高纯度瓶装气体的方案要好一些。
光谱仪的主要技术指标及技术关键包括检出限、灵敏度、分析精度、测量的稳定性、校准方法等。
光谱仪使用的氩气纯度要求≥99.996%,其纯度不够的氩气将导致以下后果:
1.校正系数超出要求范围,标准化系数偏高。
2.激发光源不激发及跳闸。
3.激发时扩散放电,激发点呈白色(白点),强度降低,样品表面无侵蚀,分析数据不准确。
4.分析数据不稳定,特别是分析波长较低的元素如:C、P、S等,还有一些高合金铸件、铸铝、铸铁、纯金属等。
如果出现了以上问题,再好的光谱仪也是分析不出一个准确的数据。所以,想要光谱仪分析出一个准确的数据,前提就是要给光谱仪提供良好的气源,即含量≥99.996%的氩气。而通过氩气净化机输出的氩气含量≥99.9999%.远高于光谱的供氩要求。
氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气,为了提高硅晶体的质量,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题。通过本装置对氩气的使用,氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求,赢得客户的满意和市场的需求。由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,但使用氩气的客户确不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,这样稳定的氩气对生产晶体质量是有保证的。 氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。广泛应用于在金属保护行业、电子、电光源、科研、气体、分析、医学等领域以及光谱仪、气相色谱仪、科学仪器等等已知或未知的宽广领域