设备型号	ZCK-1200	ZCK-1400	ZCK-1600	ZCK-1800
真空室尺寸	1200×1500	1400×1950	1600×1950	1800×1950
制膜种类	多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等
电源类型	直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源
圆柱靶	直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶
真空室结构	立式双开门、立式单开门
真空系统	滑阀泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统）
充气系统	质量流量控制仪（1-4路）
极限真空	6×10－4pa（空载、净室）
抽气时间	空载大气抽至5×10－3pa小于15分钟
工件旋转方式	6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速
控制方式	手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC
备注	真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做