特点1:新组分合金敏感材料
1、采用特殊组分的NiCr金属材料,添加适量特殊元素制作新型敏感材料;
2、在400℃高温下可长期稳定工作;
3、TCR≦2ppm/℃。
材料名称 | 电阻温度系数(10-6/℃) | 灵敏系数 | 线膨胀系数(10-6/℃) |
6J22/23 | ±20 | 2.4~2.6 | 13.3 |
PtW | 192 | 3.2 | 9 |
新组份NiCr | 2 | 2.8 | 2.7 |
特点2:纳米功能薄膜设计与制备技术
1、采用真空纳米薄膜制备系统制备优质功能薄膜,保证压力传感器的综合性能。
2、纳米薄膜,致密,附着力大大提高;
3、界面原子結合,提高了疲劳性能,传感器蠕变和滞后极小,改善了传感器的静态特性;
4、膜的散热性好,改善了传感器温度性能;
5、膜针孔少,提高了绝缘性能。
各种压力传感器对比
种类 | 优点 | 缺点 |
扩散硅(压阻式) | 1、精度高; 2、小量程和绝压产品优于其它类型产品。 | 1、低于0℃高于40℃后温度稳定性能大幅度降低; 2、膜片易损坏,温漂大; 3、压力量程局限。 |
厚膜陶瓷 (压阻式) | 1、成本低; 2、抗腐蚀性能好; 3、使用范围较扩散硅宽。 | 1、不稳定; 2、压力下降时,回零难; 3、精度差,膜片易碎。 |
电容式 | 1、工艺成熟,稳定性较好; 2、过载能力强,抗腐蚀性强。 | 1、成本很高; 2、体积大,安装维护不方便。 |
应变片 (应变式) | 1、成本低; 2、成熟胶粘工艺。 | 1、手工生产,离散性大; 2、漂移大,稳定性差。 |
蓝宝石 | 1、精度高,温度范围宽; 2、量程范围宽; 3、体积小、重量轻。 | 1、成本高; 2、工艺复杂技术要求高; 3、敏感材料需要进口。 |
原子薄膜 (应变式) | 1、精度高,温度范围宽; 2、温漂小,稳定性好; 3、体积小、重量轻; | 1、成本高; 2、不适合小量程和差压测量。 |