SCA100T系列是基于3D MEMS的双轴倾角传感器，它提供了水平测量仪表级别的性能。传感器的传感元件在测量时需要与测量平台保持平行，并且传感器双轴需相互垂直。低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让SCA100T成为水平测量仪器的不二选择。VTI的倾角传感器对于振动不灵敏，因为他们都在传感元件内部增加了阻尼，并且能承受高达20，000g的机械冲击力
性能参数
参数名称条件SCA100T-D01SCA100T-D02单位
| 工作电压 | | 4.75…5.25 | 4.75…5.25 | V |
| 工作电流 | VDD=5V；无负载 | 4 | 4 | mA |
| 工作温度 | | -40…125 | -40…125 | degC |
| 测量量程 | | +/-30 | +/-90 | 度 |
| | +/-0.5 | +/-1.0 | G |
| 频率响应 | -3dB | 8…28 | 8…28 | Hz |
| 零点输出 | 环比输出 | VDD/2 | VDD/2 | V |
| 零点校正误差 | | +/-0.11 | +/-0.23 | 度 |
| 零点数字输出 | | 1024 | 1024 | LSB |
| 灵敏度 | | 4 | 2 | V/g |
| 在0…1度范围内 | 70 | 35 | mV/度 |
| 灵敏度校正误差 | | +/-0.5 | +/-0.5 | % |
| 数字灵敏度 | | 1638 | 819 | LSB/g |
| 零点温漂 | -25…85degC | +/-0.008 | +/-0.0008 | 度/degC |
| -40…85degC | +/-0.86 | +/-0.86 | 度 |
| 灵敏度温漂 | -25…85degC | +/-0.014 | +/-0.014 | %/degC |
| | -40…85degC | -2.5…+1 | -2.5…+1 | % |
| 线性度 | 测量范围内 | +/-0.11 | +/-0.57 | 度 |
| 数字分辨率 | | 11 | 11 | Bits |
| 在0…1范围内 | 0．035 | 0．07 | 度/LSB |
| 噪声密度 | DC…100Hz | 0.0008 | 0.0008 | 度/√Hz |
| 模拟输出分辨率 | 带宽10Hz | 0．0025 | 0．0025 | 度 |
| 环比误差 | VDD=4.75…5.25V | +/-1 | +/-1 | % |
| 交叉灵敏度 | 最大值 | 4 | 4 | % |
| 长期稳定性 | | <0.014 | <0.014 | 度
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