低压等离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质，等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有机物，以及其它化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果，经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。

   低压等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分组成，可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统，真空室。

等离子清洗机主要应用于LCD、连接器、键合前等大规模生产领域。
      特点：所有元器件及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。
      真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐蚀等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。
      控制方式：自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间记录，适合维护，可以提供工艺参考。
      产品可根据客户要求定做

      ◎可存储50组工艺配方，随意调用。
      ◎清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。
      ◎工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。
      ◎一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洁结束提示等。
      ◎自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。
      ◎气体质量流量计采用美国进口，由模拟输入输出，量程为0～200sccm可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC可对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。
      ◎根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等。电极结构（专利）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体地均匀性及稳定性。 

振华真空拥有一支完善、精干的售后服务队伍，可在机械出现故障的第一时间电话沟通教客户怎样排除故障；广东省内可在24小时内到达客户工厂进行检修工作，省外可在48小时内到达。  
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