【CMP RETAINER RING 半导体生产用化学机械研磨法用保持环】价格_厂家

品牌/型号

airytech/C-3812-378-0001

适用机械

美国应用材料（AMAT），日本荏原（EBARA），SPEEDFAM， NOVELLUS，东京精密RETEH等主要半导体设备商的及各小厂的6英寸，8英寸，1

型号

C-3812-378-0001

规格

200MM AMAT设备用200MM AM

品牌

airytech

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CMP吸附膜

CMP RETAINER RING 半导体生产用化学机械研磨法用保持环

爱锐精密科技大连有限公司加工销售半导体用高精密CMP RETAINER　RING备件产品，可提供美国应用材料（AMAT），日本荏原（EBARA），SPEEDFAM， NOVELLUS，东京精密ACCRETEH等主要半导体设备商的及各小厂的6英寸，8英寸，12英寸的CMP RETAINER RING的反向设计及生产，精密高，产品质量稳定，世界各大厂商采用业绩非富。

产品介绍：

AMAT设备为代理的树脂与金属结合型CMP RETAINER RING结构
	主要构成：・PPS树脂部分采用以下三家厂商材料，　与原厂保持一致，根据客户需要提供材质。　KUREHA（日本）　QUADRANT TECHTRON（美国）　ENSINGER（德国）　其它材质PEEK树脂，PET树脂等也有使用，请　咨询。・金属部分采用不锈钢材料，SUS304，比原厂的SUS303更耐腐蚀。
EBARA设备为代表为全树脂型CMP RETAINER RING结构
	主要结构：・全PPS树脂结构，同样采用以下三家厂商材料，　与原厂保持一致。　KUREHA（日本）　QUADRANT TECHTRON（美国）　ENSINGER（德国）　其它材质PEEK树脂，PET树脂等也有使用，请　咨询。
特殊钨制程用PEEK材质CMP RETAINER　RING结构
	主要构成：・树脂部分采用PEEK+40%炭素材料，　硬度与耐磨性较PPS要好，消耗亦减少。・金属部分采用不锈钢材料，SUS304，比原厂的SUS303更耐腐蚀。

产品主要特点：

提供树脂表面的镜面抛光研磨：

此项服务可以让最终用户的DUMMY研磨时间降低，同时降低相关耗材的消耗，节约客户成本，提供客户生产效率。

上图为表面镜表研磨后采用特殊光学干涉检查装置，检查抛光后的树脂表面粗糙度照片，镜表粗糙度（Mirror Surface roughness, ）控制在Ra 0.588~0.881 (µm)

提供背部的金属或树脂的平行度研磨：

产品的上下表面的平行度会影响被研磨晶圆的精准度及晶圆加工过程中的各部位的研磨率，为保证被加工晶圆的精密度，出货前做背部的平行研磨，车削产品件的精度平行度在50µm,背部平行研磨后的产品件的平行精度会隆到15µm，大大提高了被加工体的精密。

可以提供的相关规格

200MM AMAT设备用 PPS与不锈钢接合型 CMP RETAINER　RING		200MM AMAT设备用全PPS树脂无沟槽型 CMP RETAINER　RING
200MM AMAT设备用 PEEK+40%炭素材料与不锈钢接合有沟槽型 CMP RETAINER　RING		200MM AMAT设备用 PEEK+40%炭素材料与不锈钢接合无沟槽型 CMP RETAINER　RING
150MM 全PEEK+40%炭素材料 CMP RETAINER　RING		200MM 全PEEK树脂 CMP RETAINER RING
200MM 全PET材质研磨用 CMP RETAINER　RING		150MM 全PET材质研磨用 CMP RETAINER　RING
200MM 全PET-ETX 材质研磨用 CMP RETAINER　RING		200MM 全PBT材质研磨用 CMP RETAINER　RING
200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 有沟槽系列		200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 无沟槽系列
200MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING		150MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING
300MM EBERA G3 全树脂系列附密封橡胶 CMP RETAINER　RING		200MM EBARA 全树脂系列 CMP RETAINER　RING
200MM EBARA 全树脂系列 CMP RETAINER　RING		150MM PETER WOLTER GUIDE RING
300MM AMAT设备用 PPS与不锈钢接合型 CMP RETAINER　RING		300MM EBARA G2 全树脂系列 CMP RETAINER　RING
300MM EBARA G2S 全树脂系列 CMP RETAINER　RING		300MM EBARA PEEK+40%炭素 CMP RETAINER　RING
300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM		200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM
200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM	可以加工的设备商名：	AMAT(MIRRA, REFREXTION)， EBARA，NOVELLUS， ACCRETECH， SPEEDFAM， PETER　WOLTER