1、常温(25℃),降温-20℃约45分钟左右
2、40升酸液循环制冷,可用变频调整酸液流量,可腐蚀3寸或4寸硅片
3、提拉腐蚀,可设定时间,速度可调
4、采用法国超低温压缩机(制冷剂404A),冷却方式为循环水
5、采用意大利进口温控表,控制精度可达0.1度
6、制冷采用直接给酸液降温
7、功率5000W,电压380V
8、2工位,设备整体采用进口PP板
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