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仁荷泰可（北京）科技有限公司
中国 北京
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型号
3030V/A
原理
质量流量计
用途
气体流量计
工作温度
0~50 °C℃
测量范围
0.001-30m³/h
精度等级
≤±1% FS
Model
M3030V
M3030A
流量范围(N2)
10sccm ~ 30000sccm
5sccm ~ 30000sccm
相应时间
≤2 sec
≤2 sec
精准度
≤±1% FS
≤±1% FS
重复精度
≤±0.25% FS
≤±0.25% FS
输入/输出信号
0~5 Vdc
0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压
≤90 bar
≤90 bar
工作环境温度
0~50 °C
0~50 °C
漏率
1*10E-9 atm cc/sec
1*10E-9 atm cc/sec
使用范围
2 ~ 100%
2 ~ 100%
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