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1.设计精密.结构坚固.重量轻.易於安装及维护.2.空气冷却(气冷式).3.值结式驱动,可避免转动皮带及齿轮之松弛或损耗.4.含高效率油雾过滤器,不须将气体排出室外.5.进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流.6.低震动,不需用基础螺拴固定泵浦.7.运转声音小.8.具气体压载阀,可适用於蒸气之制程.9.即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气,会从泵浦出气口完全排出,而不会在泵浦内发生凝结现象。
