洁净室的防火、防爆

（一）洁净室防火的重要性

1、洁净室是密闭厂房。一般情况下不设外门、外窗，越是净化级别高其位置越在核心中间部位的无窗密闭厂房。如果出现火情，不仅财产会受很大损失，更重要的是人员难以疏散会有人员的伤亡。

2、洁净室是重要的科研和生产场所，生产会使用大量的易燃、易爆的气体、溶剂和有机物质，同时也还会使用大量的有毒有害物质，一旦发生火灾，后果不堪设想。

3、洁净室是为高科技服务，不仅仅洁净室本身的建造费用高（2000~10000元/m2），而且洁净室内的生产设备的价格更高，有的微电子设备每台都数百万美元。如果发生火灾，财产损失惨重。

集上述一些因素，洁净室的防火是十分重要的。

（二）洁净室的防火措施

    1、建筑结构的材料应用不燃材料制作。洁净室的装修材料也应采用不燃材料制作。应严格按“洁净厂房设计规范”中5.2“防火和疏散”一节的要求执行。

2、生产工艺要尽量不用和少用易燃易爆的原材料。如果必须使用，尽量采取密封措施不散放出来，并且加强通风换气。工艺生产使用易燃易爆气体时建议在气源瓶和使用设备中间加一个“中间分配箱”，使正常情况下是与易燃易爆有毒有害气源是处于断开的状况。

3、采取必要的报警和灭火措施

① 加强早期报警。采用空气采样器和感温探头系统联合进行报警，实现对阴火和明火的早期报警（空气采样器对阴火非常敏感，感温探头对明火非常敏感）。