ZT-100

ZT-500

ZT-700

检查底片种类

黑色底片及棕片

检查相机数

1 Carrera

解析底范围

4-10um

解析底调节

　　　　　　　手动设定 　　　　　　　　　　　　　　　　自动设定 

最小线宽线距量测(L/S)

32/32um

最小缺点大小

8um

最大底片大小

670*710mm

最大检查大小

610*630mm(选择:更大检测大小可能)

缺点检出种类

开口、突出、侵入、该划、针孔、短路、异物

检查方式

CAM 资料比对，DRC

CAM 资料

ODB++，GDB-II，RS-274D/X，DPF，FIRE-9XXX，DNS RP/RFH

扫描速度比较

ZT-100

ZT-500

ZT-700

解析底

8um

扫描大小

400*500mm

扫描时间

1 min 32 sec

1 min 32 sec

56 sec