手动分析探针台,用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台,可吸附多种规格的圆片及芯片,并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。设备可代替美国CASCADE公司的EPS150系列的手动探针台。
性能名称
技术指标
可测圆片尺寸
2″、3″、4″、6″
工作台
行程
160mm×160mm
结构
精密高刚性直线导轨,滚珠丝杠
分辨率
操作方式
手轮
承片台Z向
接触/分离
行程 0.5mm
承片台θ向
微调范围
±15°
针座平台
升、降行程
25mm
0.66mm
吸片盘
吸片方式
真空吸附
分档
(2″、3″)、4″、6″单独真空吸附,三档可选
显微镜及配件
微调支架
显微镜
照明灯
相关配件
打点器
可调三维座,驱动DC24V
测试探针
三维针座
磁性吸附式,可调范围:x: ±6.5mm, y: ±6.5mm,
设备重量
约30 KG
外形尺寸
610mm×560mm×500mm(长×宽×高)
使用环境
电源
功率
真空
环境温度
相对湿度
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