一.主要用途

电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料。

二.质量标准

国际半导体设备与材料组织(SEMl)将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和SEMI-C12四个等级，如表1所示。我国则划分为BV-I、BV-Ⅱ、BV-Ⅲ和BV-Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际SEMI-C7质量标准，适用于0.8-1.2μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。但当前国内外对高纯磷酸级别的划分很混乱，国外如美国、日本、德国的电子级磷酸均已工业化生产，但由于技术保密，其产品质量指标及生产技术未见报道。国内迄今还没有电子级磷酸的标准，产品质量和技术性能只能由客户单方面认定。国内一些试剂厂已能生产MOS级和BV-I级电子级磷酸。随着IC集成度的不断提高，对电子级磷酸中的可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严，同时对生产环境、包装方式及包装材料等提出的要求更高。

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