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STFJ-620F型系列复合分子泵机组由FF-160/620C系列各性能复合分子泵,前级机械泵,隔断电磁阀,前级管路,断水保护器,分子泵电源,控制电源等组装于控制台内而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛应用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各个领域。
STFJ-620C分子泵机组技术性能:
产品型号 | STFJ-620C |
接口法兰 | DN160LF | DN160CF |
抽气速率L/S(对空气) | >600 |
压缩比N2 H2 | >109 5×104 |
极限压强(pa) | 5×10-6 | 6×10-7 |
排气口法兰 | KF40 |
使用轴承 | 精密陶瓷轴承 |
输入电压频数(V/HZ) | 220±20/50 |
环境温度℃ | 5~40 |
前级泵型号 | TRP-24 |
启动时间(min) | <6 |
额定工作转速(rpm) | 42,300 |
冷却方式 | 水冷<25℃ |
安装方式 | 垂直安装±5° |
重量(kg) | 62 |
长×宽×高 | 630×620×850 |
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