高纯氧

　　high purity oxygen 　　分子式：O2性质：纯度≥99.995％。尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，杂质含量N2≤10 cm3/m3，Ar≤5cm3/m3，H2O≤lcm3/m3，CO2≤0.5cm3/m3。无色无臭无味气体。氧不可燃，但助燃。相对密度ds(21.1℃，空气=1)1.105。气体密度1.326kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度1141kg/m3(- 182.96℃)。沸点- 182.96℃。熔点-218.78℃。大部分商品氧都是由空气分离制造的。即将空气液化后经精馏提纯。也可采用低温全精馏法。少量氧采用电解氧为原料，经催化脱氢可制取纯度为99.99％以上的高纯氧。其他纯化方法有变压吸附法和膜分离法。高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。