
上海睿游电子科技有限公司:专业维修AE镀膜电源。
RFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX:Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术,更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修。
RF ( 射频系列 ) :
RFG : RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 、 RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV ; APEX : Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027 、 Apex 5513 、 Apex 7013 、 Apex 10013 、 Apex 3513 、 Apex 10513 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513 、 Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002 、 Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、 Rapid F ; RFX : RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX ; RFX II : RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ; HFG : HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M ; HFV : HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW ; Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162 ; ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW ; Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300 ;Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v) 、 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 、 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v) 、 Cesar 1350(200v/400v) 、 Cesar 136 、 Cesar 2710 、 Cesar 2720(200v/400v) 、 Cesar 273 、 Cesar 2740(200v/4000v) 、 Cesar 276 、 Cesar 4010 、 Cesar 4020(200v/400v) 、 Cesar 403 、 Cesar 4040(200v/400v) 、 Cesar 405 、