主要质量技术指标：
产 品 等 级
GC含量
水分含量
阴离子含量
金属离子含量
LPC值
阻抗值
IPA USE
超纯电子级
≥99.99％
≤50ppm
≤0.1ppb
0.2um≤100
>5.0 GΩ
IPASE
高纯电子级
≥99.9％
≤100ppm
≤1.0ppb
0.5um≤5
>1.0 GΩ
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