ABL9000气浮平台

1世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um