非接触型 量块检定仪

智能型 接触式干涉仪

1） 国内首创运用电容式测头实现了对量块的非接触式测量；

2） 国内首创的量块自动定位技术、无移人工来回移动量块；

3） 精密测头自动采集数据、检定软件自动记录与分析处理；

4） 上、下双测头实现点对测量、完美替代昂贵的进口产品；

5） 测杆升降有精密微耗电机调节、手动调节两种解决方案；

6） 运用数字滤波算法克服了噪声、脉冲噪声等的干扰因素；

7） 精密电箱与测头确保了极高的准确度、重复性和分辨率；

8） 电容式、光栅式、电感式、干涉光管满足不同用户的需求…

v 光电器件+智能软件与传统机械性接触式干涉仪完美结合；

v 智能型接触式干涉仪把原有干涉仪的示值范围提高了50%；

v 同时智能型设备也大大地提高了传统设备的分辨率；

v 光电器件自动采集数据，消除了人眼读数时的疲劳与误差；

v 检定软件对采集的数据自动分析、处理、判定、生成报告；

v 避免了校准时繁琐的人工记录与分析判定数据；

v 智能型接触式干涉仪让工作效率显著得到提高；

v 也可对用户原接触式干涉仪进行改造，降低拥有成本……

选型

要求

代号

选型举例：A-2-C-2-H 智能双测头型量块检定仪，也可写成A2C2H 

对应内容或指标

备注说明

测头类型

A

电容式传感器

特点：非接触测量（比较测量）

B

光栅式传感器

  特点：量程宽（比较测量、直接测量）

C

电感式传感器

特点：性价比更高（比较测量）

D

乌氏干涉光管

特点：接触式干涉仪（比较测量）

结构形式

1

单测头

仅有上测头

2

上、下双测头

有上、下两测头

示值误差

A

±（0.010+0.002L）um

示值范围因传感器种类而异；

最佳分辨率0.001um，因示值误差不同而异；

最佳重复性0.01um，因示值误差不同而异；

最佳稳定度0.01um，因示值误差不同而异；

B

±（0.020+0.002L）um

C

±（0.030+0.005L）um

D

±（0.040+0.005L）um

E

±（0.050+0.005L）um

F

±（0.10+0.005L）um

测杆升降

1

自动

电机控制

2

手动

人手调节

量块定位

E

自动

工作台自动对量块进行移动调整

H

手动

人手移动量块位置

可选配件

*

光学平晶

指标按用户要求提供 

*

陶瓷量块组

规格按用户要求提供