Kosaka ET4000探针式轮廓仪

    ET4000具有高性、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置，通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。

主要特点：

1. 具有极佳的台阶高度重复性5Å (1σ)和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）；

2. 高分辨率，纵轴最大分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可测量纳米级至几百微米级台阶高度；

3. 超高直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等；

4. 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料；

5. 即时监控系统：配置标准CCD，可即时监控量测位置；还可选购Top View CCD，进行高精度定位量测；

6. 可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件，观察样品全貌和测定台阶移动量；

7. 采用天然金刚石(R2μm)作为探头，经久耐用；

产品参数：

应用：

    全自动接触式轮廓仪ET4000系列可适用于薄膜、 FPD、晶片、磁盘和与纳米材料相关物件，测量微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等，可广泛应用于半导体、微量流控、精细加工和存储器等行业。