L10366系列是最新开发的真空紫外（VUV）光源单元。该产品使用了“带MgF2光窗的高亮度氘灯”来产生比传统型号高出4倍的辐照强度。由于使用了空气制冷结构和真空法兰安装，该产品现在更易于操作。
详细参数
特性
• 高辐照前度：4倍（相比于传统型号）
• 115nm以上的高VUV强度
•空气制冷（无需制冷水）
•外部控制（氘灯ON/OFF，氘灯ON状态信号）
•无需光轴对准
应用
•分光光度计、荧光光度计
•半导体晶片*、LCD板等静电去除
•光离子探测器（PID）
•多种材料的抗紫外性测试
•光化学汽相沉积（Optical CVD）
•激发光源
*专利：US PAT. No. 5596478, EP PAT. No. 0597103 Takasago Thermal Engineering CO, Ltd. holds above patents
封装内容
外形尺寸(单位：mm)
