PI-5J系列负性光敏聚酰亚胺涂层胶是一种高纯度光敏聚酰亚胺前置体-聚酰胺酸溶液,经适当的热固化处理后直接转化成聚酰亚胺层膜,适可在许多基质材料,包括单晶硅、砷化镓、氧化铝和玻璃等表面上光刻制作精细图形,主要应用于IC芯片表面的钝化膜、应力缓冲保护膜以及多层布线的层间介电绝缘膜。
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