主要技术指标:
最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s
漏率显示范围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s
启动时间:≤3min
响应时间:<1s
检漏口最高压力:1000Pa
极限真空:5×10-4Pa
重 量:43KG
主机尺寸:560(W)×500(D)×280 (H)
主要配置:
德国莱宝复合型分子泵
美国瓦里安机械泵
德国宝蒂电磁阀
美国AD放大器
内置标准漏孔
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