RGH20F UHV真空兼容圆光栅
RGH20F UHV圆光栅读数头与雷尼绍的RESR圆光栅兼容，在超高真空条件下提供保真度极高的直接位置反馈。
该产品广泛应用在半导体和科学设备上，其良好的性能在多年实际应用中已得到验证。
RGH20F UHV圆光栅读数头与雷尼绍的RESR圆光栅兼容，在超高真空条件下提供保真度极高的直接位置反馈。RGH20F UHV广泛应用于对性能和可靠性要求极高的半导体和科学设备上，其良好的性能在多年实际应用中已得到验证。
与REF接口兼容
为了进一步提高性能和长期可靠性，由符合RoHS标准的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有动态信号调节功能和0.05角秒的分辨率。
RGH20F UHV读数头由精选的低除气速率材料和粘合剂在指定的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁。
雷尼绍的RESR圆光栅
RESR圆光栅由没有涂层的单片式300系列不锈钢制成，这意味着它可按照需要进行专业清洗和去脂。该圆光栅具有一个大通孔和小截面，因此简化了设计，同时还最大程度降低了质量和转动惯量。此外，它采用雷尼绍具有专利的锥面安装方式，可提供一种实现精细调整的简单方法，而且在很宽的温范围内具有高水平的稳定性。用于UHV应用的RESR圆光栅提供直径范围从52到550 mm的尺寸，还可根据要求提供定制尺寸或更大直径。
残留气体分析 (RGA) 测试结果
通过独立残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。
RGH20F读数头的RGA光谱结果
RESR圆光栅的RGA光谱结果
UHV系列的用途
提高产量和收益
降低损坏风险
- RESOLUTE UHV是真正的绝对式光栅，开启后可立即采集绝对位置
- 移动轴时不会有碰撞风险
- RESOLUTE UHV任何时候都能保持全面控制，即使断电后也是如此
增强可靠性
UHV读数头的特性与优点
- 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低，进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境
- 120 °C烘焙温度
- 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零
- 具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1 nm
- 电耗低、发热小
- 排气密封
- 自适应电路可确保高精度、长期工作的可靠性和低周期误差（RGH25F UHV和RGH20F UHV为±50 nm，TONiC UHV为±30 nm）
- 带有真空兼容涂层线路的RFI屏蔽线缆
- TONiC UHV光栅具有光学参考零位
