工作参数

单位

指标规格

拉伸间距

mm

0~75

火头扫描宽度

mm

0~30

单边拉伸速度

Um/s

0~2000

预拉长度

mm

0~5

夹具运动精度

um

1.6

火头左右运动精度

um/step

1.25

封装台运动精度

um/step

2.5

氢气流量范围

sccm

1~300

氧气流量范围

sccm

0~100

探测器类型

InGaAs

FC

波长范围

nm

800~1700

功率测量稳定度

dB

0.01

外形尺寸（L×W×H）

mm

600*475*230

电源

AC100~220V/50-60Hz/5A