日本富士感光浆，移印钢板感光浆 

一、特性

1、FMR是负性感光抗蚀剂，有较好的耐酸、耐碱性。

2、FMR的解像性比较好，由于抗蚀剂中的金属离子含量极少，所以适合于半导体管（电

晶体）、二极体、IC（集成电路）和SI（大规模高密度集成电路）等方面使用。

二、使用方法

1、表面处理

对金属板进行完全的脱脂、脱錆、喷涂等。

2、涂布处理

可用多种涂布方法如旋转、蘸、喷涂等。

3、烘干

置于热风恒温干燥器中，80-100℃，20分钟；或置于加热板上，80-100℃，2分钟。

4、曝光

用i线（365nm）—g线（436nm）曝光。

5、显像

使用FMR显像液，在常温下显影1分钟，用FMR洗涤液冲洗30秒。

6、烘烤

在150℃的情况下，加热20-30分钟，或置于加热板上，150℃，3分钟，可提高耐腐

蚀性。

7、蚀刻

按照常规处理。

8、剥膜

使用FMR剥膜液，在常温下浸渍2-3分钟，然后用水洗。