陶瓷旋转靶材采用烧结及绑定工艺，可生产长度4000mm，单节长度250mm，厚度根据客户要求定制。

    陶瓷旋转靶材包括GZO旋转靶、AZO旋转靶、Nb2Ox旋转靶、Si旋转靶等，材料也可根据客户要求定制。