QMG700分析型质谱仪
产品简介:QMG700分析型质谱仪,卓越的检测极限具有超强的稳定性和分辨率。 产品详细
QMG700分析型质谱仪 的详细介绍
在半导体制造技术的快速进步,依靠迅速而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择INFICON
QMG 700分析质谱仪,通过检测壁垒,推动你的进程,以创新的一个新的水平。该QMG700提供无与伦比的性能和适应性模块化设计。提升您的竞争优势与QMG700
,实现测量能力的高水准。
从广泛的离子源,质量过滤器和RF电源选项中进行选择,来定制您的QMG
700到特定的应用程序。该QMG
700拥有超过九十年的动态范围和ppb的检测限,使其成为超高真空测量的理想仪器。 QMG
700提供单元的分辨率在其整个质量范围内,而对于低质量甚至更高的分辨率。该仪器是一个极好的选择了最具挑战性的测量,包括同位素分析,如氦和氘的分离。与QMG
700控制过程,并依靠其卓越的长期稳定,保护关键测量。
四十余年分析质谱卓越的INFICON确保QMG
700是您下一次气体分析投资的正确选择。为了获得一致的准确度和的结果,你可以依靠INFICON
QMG 700和我们的全球应用经验。
规格
QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | ||
Mass Range | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
Sensor Length | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
Rod Diameter | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
Rod Material | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
Flange | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
Detector Type | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
Max. Operating Pressure (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
Max. Operating Pressure (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
Sensitivity | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
Minimum Detectable Partial Pressure | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
Resolution (adjustable) | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
Partial Pressure Ratio | <option value="" label=" < 0.5 ppb | <option value="" label=" < 0.5 ppb | <option value="" label=" < 0.5 ppb | |
Max. Operating Temp. Sensor | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
Max. Bakeout Temp. | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
Max. Operating Temp. Electronics | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
Measurement Speed | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
Power Supply | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 is available for mass ranges: 1-512 amu, 1-1024 amu, 1-2048 amu.
QMA 400 specifications based upon 512 amu mass range, cross beam ion source system configuration
(2) QMA 410 is available for mass ranges: 1-16 amu, 1-128 amu, 1-340 amu.
QMA 410 specifications based upon 128 amu mass range, cross beam ion source system configuration