Transpector HPR 气体分析系统,一致的灵敏性实现污染控制

Transpector HPR 气体分析系统  的详细介绍

INFICON Transpector HPR 结合了 Transpector RGA 的高性能与校准基准，成为一种适用于工具诊断和监控的自动化仪器。通过与 INFICON FabGuard 传感器集成与分析系统的强大功能相结合，Transpector HPR 具备自我监控以及在过程中监控工具是否存在误差或缺陷的功能。

功能

• 多个 AMU 质量范围，带组合型法拉第杯/电子倍增器
• 自动 EM 增益调整
• 九个数量级的动态量程
• 自动调整质量位置和分辨率
• 可变停留时间，具有优良的信噪比
• 5E-15 Torr 的 MDPP（100 AMU 型号）

• 各种工具模块的氦气泄漏检测
• 适用于预防性维护用途的模块状况监控
• 完成预防性维护之后记录数据
• 增长率测量
• 背景状况监控