Transpector 2残余气体分析仪
产品简介：inficon Transpector 2残余气体分析仪，超高灵敏度和性能优于的新一代残余气体分析仪，高灵敏性改善污染控制。 产品详细
Transpector 2残余气体分析仪 的详细介绍
Transpector 2残余气体分析仪Transpector®
气体分析系统是一种 RGA，可在半导体制造业中，为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。 与之相比，Transpector
2残余气体分析仪Transpector 2 提高了氢气灵敏度，使下限达 ppm
量级的污染均可一览无余，低电平信号下的扫描速度快达四倍，动态扫描范围更为宽泛，可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据。
Transpector 2残余气体分析仪功能
- 100-amu、200-amu 和 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯
- 提高氢气检测水平
- 优异的峰值振幅和位置稳定性
- 与原始 Transpector 相比，信噪比高达 10 倍
- 低电平信号下扫描速度更快
- 九个数量级的电子动态量程
- 针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项
- 从 1 X 10 -4 Torr 到 5 X 10 -15 Torr 范围内的分压力测量
